Delcom 桌上型非接觸式表面電阻量測設備
Delcom 桌上型非接觸式表面電阻量測設備｜RD／RS 系列選型
支點科技提供 Delcom 桌上型非接觸式表面電阻量測設備，適合導電薄膜、ITO、TCO、晶圓、玻璃鍍膜、鏡面材料、厚材料與弧形材料的表面電阻、表面導電率、體積電阻率與相關薄層電性檢測。可依 RD／RS 感應器配置、200／300／450 mm 平台尺寸、樣品厚度、導電層位置與預估 ohm/sq 範圍評估合適機型。
平台尺寸
樣品厚度與導電層位置
若樣品為薄膜、晶圓、玻璃鍍膜或片材，需先確認導電層是在表面、背面或夾層結構中。RD 系列採 C 型上下量測感應器，樣品需放入上下感應器之間；RS 系列採單邊感應器，較適合較厚或不易放入上下感應器間的樣品。
平台尺寸：200／300／450 mm
若樣品尺寸較小，可先評估 200 mm 平台；若樣品接近 8 吋、12 吋或更大尺寸片材，可依樣品外形、量測區域與是否需要較大承載平台，評估 300 mm 或 450 mm 平台方向。
材料型態與有效量測深度
RD 系列依目前資料，阻值有效量測深度約可達 0–6 mm，但樣品厚度需在 6 mm 以下；RS 系列為單邊感應器，阻值有效量測深度約在 3 mm 以下，但樣品本體厚度不受 3 mm 限制。實際仍需依材料結構與導電層位置確認。
RD／RS 桌上型系列怎麼初步選擇？
常見適用樣品與檢測建議
導電薄膜與 ITO／TCO
適合透明導電膜、ITO、TCO、鍍膜玻璃與相關薄膜材料的非接觸式片電阻檢測，可用於研發、來料檢驗與製程比對。
晶圓與半導體材料
可依晶圓尺寸、材料結構、導電層位置與預估電阻範圍評估桌上型量測方向，實際仍需依樣品條件確認。
玻璃、鏡面與厚材料
若樣品為玻璃鍍膜、鏡面材料、厚基材或特殊結構材料，需同步確認厚度、表面狀態、導電層位置與量測距離。
研發測試與來料品管
適合研發建立材料資料、供應商來料驗收、批次比對與客戶驗收前確認。若需要線上監控，則建議另評估線上型 Delcom 系統。
桌上型 Delcom 非接觸式表面電阻量測設備適合固定位置的研發測試、品管檢測與來料驗收。選型前建議先提供樣品尺寸、厚度、材料結構、導電層位置、預估 ohm/sq 範圍、是否需要 Mapping，以及是否有量測速度或資料輸出需求。若需先理解片電阻、ohm/sq 與電阻率關係，可延伸閱讀 什麼是表面電阻 Rs（Sheet Resistance） 與 電阻率和厚度之間的關係計算。實際選型仍需依樣品條件、檢測目的與品管流程確認。
桌上型非接觸式表面電阻量測常見問題
RD 系列和 RS 系列差在哪？
RD 系列採 C 型上下量測感應器，量測時樣品需放入上下感應器之間。依目前提供資料，RD 系列阻值有效量測深度約可達 0–6 mm，但樣品厚度需在 6 mm 以下。
RS 系列採單邊感應器，量測時不需要像 RD 系列一樣由上下感應器夾住樣品。依目前提供資料，RS 系列的阻值有效量測深度約在 3 mm 以下，但樣品本體厚度不受 3 mm 限制。實際仍需依樣品厚度、導電層位置、材料結構與預估 ohm/sq 範圍確認。
200／300／450 mm 平台怎麼選？
可先依樣品尺寸、量測區域與是否需要更大承載平台判斷。小尺寸研發與品管樣品可先看 200 mm；較大晶圓、玻璃或片材可評估 300 mm 或 450 mm。
詢價前需要提供哪些資料？
建議提供樣品材質、尺寸、厚度、導電層位置、預估表面電阻範圍、是否需要 Mapping、資料輸出需求，以及目前檢測目的或客戶驗收條件。
需要確認 RD／RS 桌上型非接觸式表面電阻量測設備怎麼選？
可提供樣品尺寸、厚度、材料結構、導電層位置與預估 ohm/sq 範圍，支點科技可協助評估 RD200、RS200、RD300、RS300、RD450 或 RS450 等桌上型方向。
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Delcom RD200 是桌上型非接觸式表面電阻量測設備，可應用於晶圓、SiC、ITO、TCO、薄膜、玻璃、太陽能材料與導電材料的表面電阻、表面導電率、體積電阻率、厚度與發射率檢測。RD200 屬於桌上型 Benchtop 非接觸式量測設備方向，適合不希望探針接觸樣品表面、需降低接觸痕跡影響，或需要快速確認材料導電狀態的研發與品管應用。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、表面狀態、量測範圍與品管流程確認。
Delcom RS200 是桌上型非接觸式表面電阻量測設備，採單面感測器嵌入 200 × 200 mm 平台設計，適合厚材料、弧形材料、玻璃、鏡面材料、鍍膜材料與相關導電層材料的表面電阻、表面導電率、體積電阻率、厚度與發射率量測。RS200 可透過一鍵操作、Delcom 軟體、Python 函式庫或 MODBUS/TCP 介面進行操作，適合研發測試、材料驗證、來料檢驗與品管流程建立。實際選型仍需依樣品尺寸、厚度、曲率、導電層位置、預估 ohm/sq 範圍與資料流程確認。
Delcom RD300 是桌上型非接觸式表面電阻量測設備，採雙面感測器配置，搭配 300 mm × 300 mm 平台，可依樣品材料與厚度條件評估窄間距或寬間距版本。RD300 可用於矽晶圓、碳化矽晶圓、ITO、TCO、玻璃、鏡面、鍍膜材料、太陽能材料與相關導電層材料的表面電阻、表面電導率、體積電阻率、厚度與發射率量測。實際選型仍需依樣品尺寸、材料厚度、導電層位置、表面狀態、預估 ohm/sq 範圍與品管流程確認。
Delcom RS300 是桌上型非接觸式表面電阻量測設備，採單面感測器嵌入 300 × 300 mm 平台設計，可用於厚材料、弧形材料、玻璃、鏡面、鍍膜材料、Low-E 玻璃、太陽能材料與相關導電層材料的表面電阻、表面電導率、體積電阻率、厚度與發射率量測。實際選型仍需依樣品尺寸、厚度、曲率、導電層位置、表面狀態、預估 ohm/sq 範圍與品管流程確認。
Delcom RD450 是桌上型非接觸式表面電阻量測設備，採雙面感測器配置，搭配 450 mm × 450 mm 平台，可用於較大尺寸薄膜、玻璃、鍍膜材料、太陽能材料、ITO、TCO、鏡面材料與相關導電層材料的表面電阻、表面電導率、體積電阻率、厚度與發射率量測。實際選型仍需依樣品尺寸、厚度、導電層位置、表面狀態、曲率、預估 ohm/sq 範圍與品管流程確認。
Delcom RS450 是桌上型非接觸式表面電阻量測設備，採單面感測器嵌入 450 × 450 mm 平台設計，可用於較大尺寸厚材料、弧形材料、玻璃、鏡面、Low-E 鍍膜玻璃、太陽能材料與相關導電層材料的表面電阻、表面電導率、體積電阻率、厚度與發射率量測。實際選型仍需依樣品尺寸、厚度、曲率、導電層位置、表面狀態、預估 ohm/sq 範圍與品管流程確認。