半自動 12吋晶圓四點探針量測系統

支點所代理的 AiT 12吋晶圓四點探針量測系統,搭配英國Jandel高穩定探頭,充分發揮CMT-SR5000 四點探針在表面電阻(ohm/sq),體積電阻(ohm-cm)上量測的高精度表現。多功能Mapping軟體,讓分析如虎添翼,無論阻抗的均勻性分析,或是透由阻抗計算的厚度數據,讓您的量測更上一層樓。

  • 應用於晶圓, 薄膜, 太陽能等產業的表面電阻量測, 支援尺寸300mm晶圓或210*1210mm薄膜/玻璃等..
  • 表面電阻量測單位顯示(ohm, ohm/sq, ohm・cm & S)
  • 可單機操作或使用電腦軟體控制
  • 多樣化的分析軟體(以2-D等高線圖/3-D繪製圖面呈現)
  • 使用高精度JANDEL探針頭

量測範圍

1m ohm/sq~2M ohm/sq

操作方式

操作者只要簡單的將樣品放置測試平台上並按壓量測鍵。檔位會自動調整範圍並顯示正確的讀值,包括小數點以及乘數

JANDEL 四點探針探頭

採JANDEL所設計的快速安裝接頭/轉換器的探頭, 無需特殊工具或對準治具, 在幾分鐘內就可以安裝完成且全機標準配置JANDEL探頭。

量測數據的顯示

量測數據直接顯示於設備主機面板上

量測速度

約2±1秒/點

內部元件精度

±0.5%(高精度電阻)

維護以及服務

採用最先進的微處理器技術,達到無故障操作和高度可靠性。 將所有電子元件都安裝在易於更換的印刷電路板上

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