四點探針電阻量測儀
四點探針量測系統怎麼選？先看樣品尺寸、片電阻範圍與多點量測需求
晶圓量測可比較 12 吋與 8 吋平台；玻璃、導電薄膜與面板樣品，可比較薄膜平台；太陽能電池可評估專用機型；研發單點測試則可比較桌上型與手動系統。選型時先確認樣品能否接觸探針，再比較平台尺寸、探頭配置與資料分析方式。
四點探針常用於片電阻（Ω／□）量測；電阻率（Ω·cm）的計算還需配合樣品厚度、幾何條件與適用的修正方式。若需要多點分布圖（Mapping），應一併確認測點設定、平台移動方式與軟體配置。
依樣品與量測流程比較機型
可直接比較適用樣品、量測尺寸、操作方式與 Mapping 功能；點選型號即可查看產品介紹。
| 型號 | 適用樣品 | 量測尺寸（mm） | 操作方式 | Mapping |
|---|---|---|---|---|
| CMT-SR5000 | 晶圓 | Ø300（12 吋） | 半自動 | ✓ |
| CMT-SR2000N | 晶圓 | Ø200（8 吋） | 半自動 | ✓ |
| CMT-SR3000 系列 | 玻璃、導電薄膜 ITO／TCO、面板 | 500 × 500（S） 620 × 720（M） 1100 × 1300（L） | 半自動 | ✓ |
| CMT-SR2000N-PV | 太陽能電池 | 156 × 156 | 半自動 | ✓ |
| CMT-SR1000N | 晶圓與小尺寸樣品 | Ø100（4 吋） | 半自動 | ✓ |
| CMT-100MP | 導電薄膜、玻璃 研發材料 | 220 × 220 | 手動 | — |
| CMT-100S | 晶圓、導電薄膜 研發材料 | 190 × 190 | 手動 | — |
Ø 表示晶圓直徑；長 × 寬表示方形樣品或平台的量測尺寸。✓ 表示可搭配 Mapping 分析。
片電阻、電阻率與厚度換算要分清楚
片電阻常以 Ω／□ 表示，用於比較導電層的電性；電阻率以 Ω·cm 表示，需依材料與樣品幾何條件計算。若要由片電阻推估薄膜厚度，需已知材料電阻率，且確認導電層符合換算條件；多層導電結構或導電基材，不能直接當成單一薄膜厚度換算。
Mapping 用於呈現不同測點的數值分布。選購時需確認哪些操作由設備執行、哪些需要人工移動樣品，以及軟體能否提供所需圖表與報告。
詢價前，提供這些資料
- 樣品材質、長寬或晶圓直徑，以及厚度與導電層結構。
- 預估片電阻範圍，需要片電阻、電阻率或厚度推估資料。
- 是否可接觸量測，以及探針間距、接觸力或測點限制。
- 單點或多點量測、每批樣品數量，以及圖表、報告與資料匯出需求。
支點科技可協助討論選型、探頭配置、設備展示與售後技術支援。實際供貨配置、展示機型、庫存、交期與維修服務，請依產品型號及需求確認。
AiT CMT-SR5000 是針對 12 吋晶圓片電阻與電阻率量測設計的四探針量測系統，可應用於半導體晶圓、擴散製程、摻雜製程、薄膜沉積、導電薄膜、太陽能電池與材料研發品管等電性檢測需求。可依晶圓尺寸、量測點位、片電阻範圍、電阻率範圍、Mapping 需求、資料分析與製程品管流程，評估 CMT-SR5000 是否適合導入。實際選型仍需依樣品條件、檢測目的與品管流程確認。
AiT CMT-SR2000N-PV 是半自動 Solar PV 四點探針量測系統，適用於太陽能電池與 Solar Cell 156 × 156 mm 樣品的表面電阻與體積電阻量測。系統搭配 JANDEL 探針頭，可依需求進行 ohm、ohm/sq、ohm・cm 與 S 等單位顯示，並可搭配分析軟體以 2D 等高線圖或 3D 圖面呈現量測分佈，協助太陽能材料研發、製程監控與品管分析。實際選型仍需依樣品尺寸、電阻範圍、量測點位、Mapping 需求與品管流程確認。
AiT CMT-SR3000 series 是針對 FPD、Glass、Thin Film、面板、觸控與材料產業設計的半自動導電薄膜四點探針量測系統，可用於玻璃、薄膜、ITO、TCO、導電膜與相關材料的表面電阻、片電阻與電阻率量測。系統可搭配 JANDEL 四點探針頭與 Mapping 分析軟體，以 2D 等高線圖或 3D 圖面呈現量測分佈，協助研發、製程監控與品管分析。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、量測點位、平台尺寸與資料分析需求確認。
CMT-SR1000N 是桌上型四點探針表面電阻量測系統，可應用於薄膜、玻璃、導電材料、晶圓切片、鍍膜樣品、ITO / TCO 與材料研發樣品的表面電阻、片電阻與電阻率量測需求。適合研發實驗室、材料開發、來料檢驗與小尺寸樣品品管分析。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、量測點位、接觸條件與資料分析需求確認。
AiT CMT-SR2000N 是半自動 8 吋晶圓四點探針量測系統，可應用於 200 mm 晶圓、薄膜、玻璃與太陽能相關材料的表面電阻、片電阻與體積電阻量測。系統搭配 JANDEL 四點探針頭，可依需求顯示 ohm、ohm/sq、ohm・cm 與 S 等單位，並可搭配 Mapping 分析軟體，以 2D 等高線圖或 3D 圖面呈現阻抗分佈與均勻性分析。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、量測點位、Mapping 需求與品管流程確認。
CMT-100MP 是手持式四點探針表面電阻量測設備，可作為薄膜、玻璃、導電材料、ITO / TCO、太陽能材料、晶圓切片、鍍膜樣品與研發材料的表面電阻、片電阻或電阻率快速檢測方向。相較平台式四點探針系統，CMT-100MP 更適合現場快速確認、樣品初步篩選、來料檢驗與不便放置於平台的大型或局部區域量測。實際選型仍需依樣品尺寸、表面狀態、電阻範圍、探針接觸條件與檢測目的確認。
AiT CMT-100S 是入門型手動四點探針量測系統，支援約 190 × 190 mm 樣品平台，可應用於晶圓、薄膜、玻璃、太陽能材料、導電膜、ITO / TCO、鍍膜樣品與研發材料的表面電阻、片電阻與體積電阻量測。系統搭配 Signatone 四點探針探頭，適合研發實驗室、小尺寸樣品、來料檢驗與入門型品管量測需求。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、探針接觸條件與檢測目的確認。