CMT-SR1000N｜桌上型四點探針表面電阻量測系統
CMT-SR1000N 是桌上型四點探針表面電阻量測系統，可應用於薄膜、玻璃、導電材料、晶圓切片、鍍膜樣品、ITO / TCO 與材料研發樣品的表面電阻、片電阻與電阻率量測需求。適合研發實驗室、材料開發、來料檢驗與小尺寸樣品品管分析。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、量測點位、接觸條件與資料分析需求確認。
Key Features
CMT-SR1000N 桌上型四點探針表面電阻量測應用
CMT-SR1000N 可應用於晶圓、薄膜、太陽能材料、導電膜、ITO / TCO 與材料研發樣品的表面電阻、片電阻與電阻率量測，適合研發實驗室、來料檢驗、小尺寸樣品確認與日常品管分析。實際導入仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、接觸條件與檢測目的確認。
01
晶圓、薄膜與太陽能材料量測
可用於晶圓切片、薄膜、太陽能材料、導電膜與鍍膜樣品的表面電阻量測，適合小尺寸樣品研發、製程確認與品管檢查。
02
多種量測單位顯示
表面電阻量測結果可依需求顯示 ohm、ohm/sq、ohm・cm 與 S 等單位，方便不同材料與檢測目的下的資料判讀。
03
自動下壓量測中心單點
採桌上型操作方式，可自動下壓量測樣品中心單點，降低手動接觸差異，適合研發實驗室與日常檢測流程。
04
JANDEL 探針頭配置
使用 JANDEL 探針頭，可作為接觸式四點探針表面電阻量測的關鍵配置。實際量測條件仍需依樣品表面狀態、探針接觸條件與量測流程確認。
選型提醒：CMT-SR1000N 較適合桌上型、小尺寸樣品與中心單點量測需求；若需要 300 mm 晶圓、多點 Mapping、大尺寸玻璃或薄膜平台，建議依樣品尺寸與分析需求評估其他 AiT 四點探針系列設備。
Specification
CMT-SR1000N 桌上型表面電阻量測規格
以下規格可作為晶圓切片、薄膜、太陽能材料、導電膜與小尺寸研發樣品表面電阻、片電阻與電阻率量測的初步參考。實際量測條件仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、接觸條件與檢測目的確認。
| 規格項目 | CMT-SR1000N 規格說明 |
|---|---|
| 量測範圍 | 1m ohm/sq–2M ohm/sq |
| 操作方式 | 操作者將樣品放置於測試平台後按壓量測鍵，系統可自動調整量測範圍，並顯示讀值、小數點與乘數。 |
| JANDEL 四點探針探頭 | 採用 JANDEL 設計的快速安裝接頭／轉換器探頭，無需特殊工具或對準治具，可在短時間內完成安裝；全機標準配置 JANDEL 探頭。 |
| 量測數據顯示 | 量測數據可直接顯示於設備主機面板上。 |
| 量測速度 | 約 2 ± 1 秒／點 |
| 內部元件精度 | ±0.5%（高精度電阻） |
| 維護與服務 | 採用微處理器技術，電子元件安裝於便於更換的印刷電路板上，便於後續維護與服務評估。 |
| 軟體數據下載 | USB 介面以及數據儲存／讀取（Windows 版本） |
備註：上述資料為產品規格參考，實際量測表現仍需依樣品表面狀態、探針接觸條件、量測環境、資料儲存需求與品管流程確認。