CMT-100S｜入門型手動四點探針表面電阻量測系統
AiT CMT-100S 是入門型手動四點探針量測系統，支援約 190 × 190 mm 樣品平台，可應用於晶圓、薄膜、玻璃、太陽能材料、導電膜、ITO / TCO、鍍膜樣品與研發材料的表面電阻、片電阻與體積電阻量測。系統搭配 Signatone 四點探針探頭，適合研發實驗室、小尺寸樣品、來料檢驗與入門型品管量測需求。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、探針接觸條件與檢測目的確認。
Key Features
CMT-100S 入門型手動四點探針表面電阻量測應用
CMT-100S 可應用於晶圓、薄膜、太陽能材料、導電膜、ITO / TCO、鍍膜樣品與研發材料的表面電阻、片電阻與體積電阻量測，適合研發實驗室、小尺寸樣品、來料檢驗與入門型品管檢測流程。實際導入仍需依樣品尺寸、表面狀態、電阻範圍、探針接觸條件與檢測目的確認。
01
晶圓、薄膜與太陽能材料量測
可用於晶圓、薄膜、太陽能材料、導電膜與鍍膜樣品的表面電阻量測，適合小尺寸樣品研發、製程確認與品管檢查。
02
多種量測單位顯示
表面電阻量測結果可依需求顯示 ohm、ohm/sq、ohm・cm 與 S 等單位，方便不同材料與檢測目的下的資料判讀。
03
手動桿下壓中心單點量測
透過手動桿下壓接觸樣品中心單點進行量測，操作方式直覺，適合入門型四點探針檢測與少量樣品確認。
04
Signatone 四點探針探頭
搭配 Signatone 四點探針探頭，可作為接觸式表面電阻與片電阻量測的關鍵配置。實際量測條件仍需依樣品表面狀態、平整度與探針接觸條件確認。
選型提醒：CMT-100S 較適合入門型手動量測、中心單點或少量點位確認；若需要自動下壓、資料下載、多點 Mapping、2D / 3D 分析或 8 吋／12 吋晶圓量測，建議依樣品尺寸與分析需求評估其他 AiT 四點探針系列設備。
Specification
CMT-100S 入門型手動四點探針量測規格
以下規格可作為晶圓、薄膜、太陽能材料、導電膜與研發樣品表面電阻、片電阻與體積電阻量測的初步參考。實際量測條件仍需依樣品尺寸、表面狀態、電阻範圍、探針接觸條件與檢測目的確認。
| 規格項目 | CMT-100S 規格說明 |
|---|---|
| 量測範圍 | 1m ohm/sq–2M ohm/sq |
| 操作方式 | 操作者將樣品放置於測試平台後按壓量測鍵，系統可自動調整量測範圍，並顯示讀值、小數點與乘數。 |
| Signatone 四點探針探頭 | 採用 Signatone 設計的快速安裝接頭／轉換器探頭，無需特殊工具或對準器具，可在短時間內完成安裝。 |
| 量測數據顯示 | 量測數據可直接顯示於設備主機面板上。 |
| 量測速度 | 約 2 ± 1 秒／點 |
| 內部元件精度 | ±0.5%（高精度電阻） |
| 維護與服務 | 採用微處理器技術，電子元件安裝於便於更換的印刷電路板上，便於後續維護與服務評估。 |
| 軟體數據下載 | USB 介面以及數據儲存／讀取（Windows 版本） |
備註：上述資料為產品規格參考，實際量測表現仍需依樣品表面狀態、探針接觸穩定性、操作方式、量測環境、資料儲存需求與品管流程確認。