CMT-SR2000N｜半自動 8 吋晶圓四點探針量測系統

AiT CMT-SR2000N 是半自動 8 吋晶圓四點探針量測系統，可應用於 200 mm 晶圓、薄膜、玻璃與太陽能相關材料的表面電阻、片電阻與體積電阻量測。系統搭配 JANDEL 四點探針頭，可依需求顯示 ohm、ohm/sq、ohm・cm 與 S 等單位，並可搭配 Mapping 分析軟體，以 2D 等高線圖或 3D 圖面呈現阻抗分佈與均勻性分析。實際選型仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、量測點位、Mapping 需求與品管流程確認。

產品特色
產品規格

Key Features

CMT-SR2000N 8 吋晶圓與薄膜表面電阻量測應用

CMT-SR2000N 可應用於晶圓、薄膜、玻璃、太陽能與導電材料等表面電阻、片電阻與體積電阻量測需求，適合 200 mm 晶圓或 140 × 140 mm 薄膜／玻璃樣品的研發、製程監控與品管分析。實際導入仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、量測點位與分析需求確認。

支援 200 mm 晶圓與 140 × 140 mm 樣品

可應用於 200 mm 晶圓量測，也可依需求評估 140 × 140 mm 薄膜、玻璃等樣品表面電阻檢測。

多種量測單位顯示

表面電阻量測結果可依需求顯示 ohm、ohm/sq、ohm・cm 與 S 等單位，方便不同材料與製程條件下的資料判讀。

單機操作與電腦軟體控制

可依現場使用情境選擇單機操作，或搭配電腦軟體進行量測控制、資料整理與後續分析。

2D / 3D 分析圖面呈現

分析軟體可依量測資料產生 2D 等高線圖或 3D 繪製圖面，協助觀察晶圓、薄膜或玻璃樣品的電性分佈與均勻性。

JANDEL 探針頭配置

使用 JANDEL 探針頭，可作為接觸式四點探針表面電阻量測的關鍵配置。實際量測條件仍需依樣品表面狀態、接觸條件與量測流程確認。

選型提醒：若需求包含 200 mm 晶圓、140 × 140 mm 薄膜／玻璃樣品的表面電阻量測、片電阻分佈、2D / 3D mapping 或製程均勻性分析，建議先確認樣品尺寸、預估電阻範圍、量測點位、資料輸出格式與內部品管流程。

Specification

CMT-SR2000N 8 吋晶圓表面電阻量測規格

以下規格可作為 200 mm 晶圓、140 × 140 mm 薄膜／玻璃、太陽能材料與導電材料表面電阻、片電阻與體積電阻量測的初步參考。實際量測條件仍需依樣品尺寸、材料結構、電阻範圍、量測點位與品管流程確認。

規格項目	CMT-SR2000N 規格說明
量測範圍	1m ohm/sq–2M ohm/sq
操作方式	操作者將樣品放置於測試平台後按壓量測鍵，系統可自動調整量測範圍，並顯示讀值、小數點與乘數。
JANDEL 四點探針探頭	採用 JANDEL 設計的快速安裝接頭／轉換器探頭，無需特殊工具或對準治具，可在短時間內完成安裝；全機標準配置 JANDEL 探頭。
量測數據顯示	量測數據可直接顯示於設備主機面板上。
量測速度	約 2 ± 1 秒／點
內部元件精度	±0.5%（高精度電阻）
維護與服務	採用微處理器技術，電子元件安裝於便於更換的印刷電路板上，便於後續維護與服務評估。

備註：上述資料為產品規格參考，實際量測表現仍需依晶圓或薄膜表面狀態、探針接觸條件、量測環境、Mapping 需求、資料分析方式與品管流程確認。