測量電阻率和厚度
測量電阻率和厚度
電阻率和厚度之間的關係計算
部分使用者的應用, 會特別在意在底材上的塗層或是鍍膜因為蝕刻或研磨後的金屬層厚度變化
例如Cu或是Al這類的金屬結構在Silicon上在蝕刻前後的厚度變化。又不想破壞整體材料本身去使用薄膜厚度輪廓儀(α-step), 就會使用電阻率與厚度之間關係來計算厚度。
支點科技所代理的美國Delcom電阻率量測儀, 設備不直接量測材料的電阻率，而是量測導電層的薄層電導。
如果材料厚度均勻且已知厚度，則可以使用Delcom電阻率量測儀來量測、記錄、顯示甚至繪製材料的電阻率圖。
相同地，Delcom電阻率量測儀不會直接測量材料的厚度。 然而，如果材料具有均勻的電阻率並且已知電阻率，則可以使用Delcom電阻率量測儀來量測、記錄、顯示甚至繪製材料的厚度圖。
| Material | Resistivity (Ω-m) |
| 石墨烯 | 1.00×10−8 |
| 銀 | 1.59×10−8 |
| 銅 | 1.7×10−8 |
| 金 | 2.44×10−8 |
| 鋁 | 2.82×10−8 |
| 鎢 | 5.6×10−8 |
| 黃銅 | 8×10−8 |
| 鐵 | 1.0×10−7 |
| 鉑 | 1.1×10−7 |
| 鉛 | 2.2×10−7 |
| 汞 | 9.8×10−7 |
| 鎳鉻合金 | 1.10×10−6 |
| 鍺 | 4.6×10−1 |
| 矽 | 6.40×102 |
(*備註20˚C條件下)
2020-05-06