Delcom 線上小間距非接觸式表面電阻量測模組
渦電流量測表面電阻(sheet resistance)的技術優勢
- 非破壞性量測(非接觸式)
- 可穿過絕緣層量至導電層
- 可量測移動中的樣品
- 近乎即時的數據量測
- 品質監控檢查
減少產品以及勞動成本
- 全自動量測–無需任何手動測量
- 100%不傷害待測物
- 解決鍍層產生的問題
- 避免使用到不合格的材料
產品配置的優勢
- 小型且分離式的探頭, 可高度客製化設計架設位置
- 可選擇大/小尺寸探頭
- 可應用於大氣或是真空狀態下
- 可量測表面電導, 表面電阻, 材料厚度(在已知電阻率的條件下), 以及電阻率(在已知厚度的條件下)
- 簡單的一鍵操作量測
- 透過LCD, 軟體, 瀏覽器或PC的應用程式來讀取數據
- 可更換探頭來調整量測範圍
- 可透過軟體同時監控八組量測頭
- 軟體包含自動樣品量測, 讀取, 記錄, 手動mapping, 判定pass/fail並導出到.CSV檔和Microsoft Excel
- 使用Modbus或是網路方式來遠距讀取以及探頭控制
- 尺寸小不佔空間
- 儀器校正無須1分鐘
- 全自動溫度補償
此設計可用於玻璃, 晶圓, 薄膜等更多應用, 包含
- 觸控螢幕, 平面顯示器, ITO, TCOs等
- 先進材料如: 奈米碳管(carbon nanotube), 石墨烯(graphene), 奈米銀絲(silver nanowire)
- 半導體材料
- 光電材料
- 建築用玻璃(Low-E), 智能玻璃(smart glass)
- OLED以及LED應用
- 包裝或是裝飾薄膜(紙), 金屬標籤, 微波接收器, 反射材料
- 軟性電路以及軟性電路板
- 金屬薄膜電容器
- 低可偵測技術(Low observables)
- 電池和燃料電池除冰和加熱產品
- 天線應用
- 防靜電薄膜
Model | Inline small gap probe | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Reach into material | 20 cm | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Sensor gap | 3 mm | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Minimum sample size | 3 cm diameter circle | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Spatial resolution | 3 cm diameter circle | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Reading rate | 30 ms | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Reading display rate | 240 ms (displays the average of eight readings) | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Model | 873 meter | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Range | ×10 From 5 to 100,000 ohms/square ×1 From .5 to 10,000 ohms/square ÷10 From .05 to 1,000 ohms/square ÷100 From .005 to 100 ohms/square | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Accuracy | Instruments are calibrated to better than 99.9% accuracy against National Institute of Standards and Technology (NIST) standards. User can calibrate a meter with one standard in one minute. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Resolution |
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Linearity | Delcom guarantees no more than 3% deviation from the true sheet resistance value of tested material. The chart below shows a Delcom meter tested against 10 NIST, VLSI, and MSA standards. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
Repeatability | The Delcom meter readings are effectively 99.9% repeatable if sample placement and environmental factors, such as temperature, are held constant. | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||